放射率

扩展释义

放射率，晶圆在快速热处理炉内的晶圆有效放射率为目的，考虑中山科学研究院正在发展中的快速热处理机台腔体内的热传，本文以蒙地卡罗法（MCM）计算加热灯、腔体及晶圆之间的热辐射交换，其结果再结合晶圆有效放射率之定义，以求得快速热处理过程中晶圆有效放射率随晶圆径向位置之分布，然後以相关文献及有效放射率的定义加以分析、探讨。